PFCs低減装置

・触媒式PFC除害装置はECOPROの核心技術である非金属触媒を活用し、代表的な温室ガスであるPFCガスを除害する設備です。

・代表的なCF4、C2F6、C3H8、CHF3等があり、その他の温室ガスであるSF6、NF3等を除害できます。この温室ガスは相対的に毒性はありませんが、地球温暖化指数が二酸化炭素対比数千倍から数万倍以上高い特性を持っています。